该晶圆研制厂最靠近豫东位置,核心分娩8厘米半导体行业晶圆,每日废液的投放量上涨约800吨。基于分娩全过程中实用很大盐酸来进行晶圆蚀刻,促使废液中氟化物酸度更是高达200-300mg/L,远超政府的废气排放规格(10mg/L下述)。
污废水 材料及来源于
工业废水重点基五个原则:
晶圆蚀刻工作
:含高盐浓度氟化物(HF)、氯化铵及少量的天价属
化学上的机械厂打磨(CMP)工业废水
:含纳米级级硅粒子、巧妙络合剂
机 冲洗废水处理工艺
:含异丙醇、氯离子等磷化合物物
处理方法步骤流程
选取"化学反应滤渣+混疑滤渣+深层次过滤水"三級净化处理系统化:
一层处置
:添加氯化钙和氢硫化钙,形成了氟化钙水解,氟化物祛除率达85%
下级净化处理
:增添PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚炳烯酰胺),洗去悬浊液态被污渍
三级分销整理
:经由多物质过滤水器和渗透性炭吸附性,留水氟化物盐浓度保持稳定在8mg/L下面
重要机 有:pH电脑自动转换系统、斜管积累池、板框带式压滤机(工业废水脱水烘干)。
终究功能
好项目运作五年期检测数据表格界面显示:
氟化物平均值氨水浓度:7.2mg/L(达不到国标准规范)
COD清理率:92%
淤泥含水量率:≤65%
年回报氟化钙副好产品约150吨,建立网络循环经济合理利用