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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8寸大晶圆的生产线设备配置的超注射用水平台,每天都在产生含硅工业化废水150吨。工业化废清水中虽无天价属,但硅含量高易积垢,且内阻率需达到18MΩ·cm才可造纸废水加工。原本的加工制作工艺尚未能够满足新发布的《网上工业化水环境有害物质排放口物标准规定》(GB39731-2020)非常排放口物最大限度。 废液因素性能 具体污染破坏物 :固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(比表面积0.1-1μm) 专项 必须 :TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L 地表水性质 :低导电率(<50μS/cm)但硅化学物质状态繁琐 治理 工艺设计环节 去创新选用"梯级膜破乳+电去铁离子"乐队组合工艺技术: 微滤预补救 :1μm陶瓷图片膜屏蔽大粒状硅,通量提升80LMH 正离子更换光敏树脂 :D201大孔树脂材料选购性降解硅酸原子 特殊RO系统软件 :独一段回笼率60%,第二种段用高脱硼膜开关元件 EDI电去正离子 :直流电孔隙率2A/m²,持续性清掉残留阴离子 紫外光消菌 :254nm太阳中的紫外线线服用量40mJ/cm² 的技术亮点纷呈 制作专用工具阻硅剂(有机化学胺类和好物),抑制膜空气污染定期3倍 EDI模块图片什么是创新流道来设计,硅取除率提高至99.8% 高清在线硅研究仪(测量方法范畴0.1-500μg/L)进行精确把握 程序运行效益 经第二方测量: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼水分含量从8μg/L调至0.3μg/L 整体收回率从原40%大幅提升至68% 膜换掉时期加长至5年,年作业的成本减低35%

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