该厂为8寸大晶圆的生产线设备配置的超注射用水平台,每天都在产生含硅工业化废水150吨。工业化废清水中虽无天价属,但硅含量高易积垢,且内阻率需达到18MΩ·cm才可造纸废水加工。原本的加工制作工艺尚未能够满足新发布的《网上工业化水环境有害物质排放口物标准规定》(GB39731-2020)非常排放口物最大限度。
废液因素性能
具体污染破坏物
:固体硅(200-300mg/L)、粒状硅(比表面积0.1-1μm)
专项 必须
:TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L
地表水性质
:低导电率(<50μS/cm)但硅化学物质状态繁琐
治理 工艺设计环节
去创新选用"梯级膜破乳+电去铁离子"乐队组合工艺技术:
微滤预补救
:1μm陶瓷图片膜屏蔽大粒状硅,通量提升80LMH
正离子更换光敏树脂
:D201大孔树脂材料选购性降解硅酸原子
特殊RO系统软件
:独一段回笼率60%,第二种段用高脱硼膜开关元件
EDI电去正离子
:直流电孔隙率2A/m²,持续性清掉残留阴离子
紫外光消菌
:254nm太阳中的紫外线线服用量40mJ/cm²
的技术亮点纷呈
制作专用工具阻硅剂(有机化学胺类和好物),抑制膜空气污染定期3倍
EDI模块图片什么是创新流道来设计,硅取除率提高至99.8%
高清在线硅研究仪(测量方法范畴0.1-500μg/L)进行精确把握
程序运行效益
经第二方测量:
总硅从280mg/L降下来0.05mg/L
硼水分含量从8μg/L调至0.3μg/L
整体收回率从原40%大幅提升至68%
膜换掉时期加长至5年,年作业的成本减低35%