半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体设备高端大气首测搭配涉重生活污水——MVR強制再循环零排品牌
活动环境
半导体材料芯片高档次公测建设该项目,投资规模150每立方米/天,是第一个半导体材料芯片公测设施涉重污生活污水 零排建设该项目。公测部分的镀镍、镀铜、引线框架图洁净会产生含镍含铜污生活污水 ,经济区规范"无尾水外排",产水所有 回收利用于产线。
水质检测功能与存在的问题
废污水以含镍为核心(含量10–100毫克/升),伴微量分析铜、锌,pH上下波动大(2–12),还光刻胶使用量的少许可挥发物。首测厂田径场紧,特殊要求处置建筑设施征地赔偿小;零排表明着浓水是不能运输过多,须要本地化汽化凝结反馈控制。
除理工学院艺路经
一体化走"分质搜集 → 预外理除杂 → 催化滤渣除镍 → 过滤程序 → UF+多级RO → MVR二次间歇蒸发器 → 蒸汽加热水循环":
含镍线先调pH到10–11,添加氢氧化反应的钠自动生成Ni(OH)₂水解,另加加硫橡胶钠进一步气体吸附多余镍(加硫橡胶镍Ksp比氢氧化反应的镍更小,如何把镍压到0.1毫克/升低于);
石雕文化沉淀有水出经多媒介活性炭过滤系统+安检员活性炭过滤系统后进UF,再进一层RO,产水马上回产线的洗涤;
RO浓水(含盐+残留物血本属)进MVR強制再巡环化掉器,強制再巡环能扛高含盐积灰,化掉器原带迅雷在线家电清洗,难以堵;
MVR冷疑水来到循环多角水池,挥发残液委外焚烧处理或当做危险废物处理,全部生产区无液太外排。
核心设施优势:原因分析
MVR硬性循环往复往复相比较各种类型降膜化掉,循环往复往复风速高、热传导面难于结镍盐/碳酸盐垢,时候首测此类"容量较小但水的硬度杂"的情况;整体化撬装设计构思征占比中国传统化掉塘+多效化掉策划方案小60%以内;臭味侧配合生物学滤池,把转换池和活性污泥间的臭味整理后溶解成CO₂和水,减少首测厂紧挨着接待室区的有异味申诉。
工作成果与整体
有水出镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,远远超过《塑料电镀被污染的直接排放量标准》表三;全部的150立米米/天产水造纸废水处理于首测产线的清洗,带替等量鲜美水;垃圾(汽化残液+污泥处理)量比过去"乳浊液+的排放量"经营模式减约70%。对富士康侧,首测的项目环保健康审批卡点打架通;